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氧化物粉体及靶材

IGZO靶材

AMOLED、 氯化物半导体、 TFT等

生产能力:常压烧结工艺 
2吨/年
产品指标:
平面靶材(规格依据要求)
纯度:≥99.99%

相对密度:≥96%
体电阻率:1×10-2 - 1×10-3 Ω/cm
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